Сосредоточив внимание на техническом применении интегрированного High - эффективности воздушных выходов в электронных чистых комнатах, этот тип устройства для снаряжения терминала является классическим и высокоэффективным, играя незаменимую роль в современном электронном производстве, особенно для ремонта старых заводов или модернизации определенных областей.
I. Что такое интегрированный высокий - эффективность воздуха?
Интегрированный высокий - Выходник воздуха эффективна представляет собой устройство для снабжения воздуха терминала, которое интегрирует высокий - фильтр эффективности (HEPA/ULPA), корпус (статическое давление) и диффузор (мембрана распределения воздуха) в одну единицу. Он соединяется с центральной системой кондиционирования воздуха через воздуховоды и представляет «последнюю милю» обработки воздуха в чистой комнате.
Основное отличие от FFU (блок фильтра вентилятора) заключается в том, что у FFU есть свои вентиляторы, в то время как стандартные интегрированные высокие - Эффективные воздушные выходы не поставляются с вентиляторами и не полагаются на вентилятор центральной системы кондиционирования воздуха для мощности. Тем не менее, есть варианты с фанатами (фанат - Admorted Hepa Box).
II Сценарии нанесения в электронных чистых комнатах
Интегрированный высокий - Эффективные выходы воздуха особенно подходят для следующих сценариев электронных семинаров:
1. ISO класс 7-8 (10 000-100 000). Чистые комнаты: как основное устройство снаряжения терминала, они плотно или равномерно распределены на потолке.
2. ISO класс 6 (1000 уровня) Чистые комнаты: они могут служить в качестве устройства подачи воздуха всей комнаты или в качестве фонового снаряжения для более высокого - Уровень чистых сред.
3. Локальное охлаждение/компенсация выхлопных газов для процесса оборудования: предоставьте компенсационную подачу воздуха для процесса оборудования, для которого требуется выхлоп (такие как травление, диффузионные печи) для поддержания стабильных различий давления в помещении.
4. Обновление и ремонт старых семинаров: Добавление High - Эффективность воздушных выходов и возвращаемые воздушные стены к существующим мастер -классам общего кондиционирования воздуха - это стоимость - эффективное, а время - Сохранение решения для ремонта чистых помещений.
5. Маленькие чистые комнаты или лаборатории: такие как метрологические комнаты, лаборатории точного анализа и т. Д.
Iii. Основные технические преимущества и стоимость приложения
Выбор интегрированного высокого - Эффективных выходов воздуха в электронных чистых комнатах проистекает из их множественных преимуществ:
Их основные преимущества и значения приложения следующие:
1. Убедитесь, что чистый выход воздуха: оснащен высокоэффективными фильтрами H13/H14 -, с эффективностью фильтрации больше или равным 99,99% для частиц 0,3 мкм, непосредственно обеспечивая чистый воздух для электронных семинаров, что является основной гарантией для достижения стандартов чистой комнаты.
2. Единое распределение воздуха: конструкция статического давления гарантирует, что воздух равномерно проходит по всей поверхности фильтрующего материала в сочетании с мембраной воздуха или перфорированным диффузором, избегая воздушных струй и образуя стабильный турбулентный или вертикальный поток, эффективно разбавляя и исчерпанные частицы.
3. Легкая установка и обслуживание: используя затягивание механического давления, интегрированное с модулем потолочной панели. Замена фильтра требует только работы над потолком, не влияя на производство ниже, что делает техническое обслуживание удобным и простоям.
4. Адаптируемость широкой системы: полагаясь на центральный вентилятор кондиционирования воздуха, нет необходимости в отдельном источнике питания и управлении для каждой розетки воздуха. Для больших площадей и семинаров с умеренными требованиями к чистоте (не ISO класса 5 и выше) общее потребление энергии системы и начальные инвестиции могут быть ниже, чем решение FFU.
5. Эффективное использование пространства: интеграция функций фильтрации, распределения воздуха и доставки в одну, компактную структуру, экономящее пространство над потолком, облегчая расположение других трубопроводов (пожарная защита, электрические, процессовые трубопроводы).
IV Ключевые технические детали и точки выбора
При выборе и применении интегрированных высоких - эффективность воздушных выходов для электронных семинаров необходимо учитывать следующие технические данные:
1. Выбор эффективности фильтрации
1.1 ISO класс 8-7 (уровень 100 000-10 000): Обычно выбираются фильтры эффективности H13.
1.2 ISO Class 6 (1000 -й уровень): рекомендуются фильтры эффективности H14.
1.3 Ключевые области процесса: если использовать в качестве фона для локальных сред, также следует выбрать H14.
2. Метод герметизации - абсолютно решающий
2.1 Жидкое уплотнение: настоятельно рекомендуется для электронных семинаров. Достижение абсолютной воздушной стеснения, внедряя лезвие в канавку, заполненную герметичным гелем, обеспечивая отсутствие утечки, что является ключом к обеспечению чистоты. Во время установки убедитесь, что лезвие является плоским, а герверный гель полностью заполнен.
2.2. Механическое давление + герметизирующая полоса: более низкая стоимость, но требует высокой точности установки, а герметичная полоса подвержена старению, с риском утечки, что требует частого обнаружения утечки. Подходит только для областей с немного более низкими требованиями.
3. Жилищный материал
3.1 Cold - Стальная стальная пластика: наиболее распространенная, стоимость - эффективно, подходит для общих электронных семинаров.
3.2 нержавеющая сталь (SUS304/316L): используется в средах, которые могут иметь химическую коррозию или более высокую влажность, или для электронных семинаров со специальными требованиями (например, производство чипов).
4. Статическое давление и устройство распределения воздуха
4.1. Статическое давление должно иметь разумную направляющую конструкцию, чтобы обеспечить равномерный воздушный поток через раздел Filter - и избежать мертвых углов.
4.2 Мембрана распределения воздуха/перфорированная пластина: функция состоит в том, чтобы сделать выходной поток воздуха более равномерным и стабильным, избегая вихря и турбулентности. Различные скорости открытия могут быть выбраны в соответствии с необходимой скоростью воздушной скорости.
5. Объем и сопротивление воздуха
5.1 Определите объем воздуха для каждой выхода воздуха на основе курса воздушного обмена, рассчитанного для разработанного уровня чистоты. При выборе модели фактический объем эксплуатационного воздуха не должен превышать объем воздуха.
5.2 При расчете общего сопротивления системы начальное сопротивление и окончательное сопротивление (обычно вдвое превышающее начальное сопротивление) высокой - выходы воздуха, чтобы правильно выбрать центральный вентилятор кондиционирования воздуха.
6. Измерительные отверстия и порты DOP
Стандартные выходы воздуха должны иметь зарезервированные отверстия разности давления для установки метров разности давления для мониторинга блокировки фильтра. Порты дыма PAO/DOP должны быть зарезервированы для регулярного на - сканирования сайта и обнаружения утечки, что является основной работой для поддержания производительности чистой комнаты.
Таким образом, в электронных чистых комнатах интегрированные высокие - Эффективные выходы воздуха являются эффективными, надежными и стоимостью - эффективного решения для построения ISO класса 6 (1000 уровня) и более низких сред. Ядро его технического приложения заключается в: обеспечение чистого воздуха через - Фильтрация эффективности; обеспечение качества воздушного потока и нулевой утечки с помощью жидкого уплотнения и конструкции распределения воздуха; Достижение удобной установки и технического обслуживания с помощью модульной конструкции.
Правильный выбор и установка интегрированных высоких - эффективности воздушных выходов, а также строгая система обнаружения и технического обслуживания утечек является основой для обеспечения чистоты электронных семинаров и повышения урожайности продукта.
