С развитием компьютерной микроэлектроники и информационных технологий, быстрое развитие электронной промышленности способствовало развитию технологий чистых помещений. В то же время предъявляются более высокие требования к проектированию чистых помещений, чтобы снизить уровень брака и повысить эффективность производства в электронной промышленности, дизайн цеха без пыли очень всеобъемлющий.
Особенности производства электроники в чистых помещениях:
Требуется высокая чистота, объем воздуха, температура и влажность, перепад давления, при необходимости контроль выхлопа оборудования. Кроме того, этот вид чистых помещений требует статического электричества очень строго ，, а потребность в влажности особенно высока. В помещении легко производить статическое электричество, что приводит к повреждению интеграции CMOS. Говоря в целом, температура электронной фабрики должна контролироваться на 22, относительная влажность позволяет людям чувствовать себя комфортно. Чиповая мастерская, чистая комната IC, цех по производству дисков - важная часть чистой комнаты. Поскольку электронные продукты в процессе производства, требования к воздушной среде и качеству воздуха в помещении очень строгие. Основной целью является контроль частиц и пыли. В какой-то момент температура и влажность окружающей среды, объем свежего воздуха и шум были сделаны строгими правилами.
1, уровень шума на заводе электроники, чистая комната уровня 10 тысяч (пустое состояние): не более 65B (A)
2. Коэффициент распределения вертикального потока в чистом помещении не должен быть менее 60%. Горизонтальный однонаправленный поток комнаты клана не должен быть менее 40%, в противном случае он становится локальным однонаправленным потоком.
3. Разница статического давления между чистой комнатой и наружной стороны электронного производителя должна быть не менее 10 Па. Разница статического давления между чистыми и не чистыми участками должна быть не менее 5 Па
4. Количество свежего воздуха в чистой комнате класса 10 тысяч должно быть максимальным из следующих двух предметов:
1> Выпуск воздуха из компенсационной камеры и поддержание положительного давления в помещении необходим общий объем свежего воздуха;
2> Убедитесь, что подача свежего воздуха на человека в чистой комнате составляет не менее 40 в час
Нагреватель системы отопления, вентиляции и кондиционирования в чистом помещении в электронной промышленности ， должен быть обеспечен свежий воздух, защита от перегрева. Если при использовании точечного увлажнения не должна быть установлена защита от воды, в холодных местах система свежего воздуха должна быть снабжена мерами против замерзания. Объем подачи воздуха в чистую комнату должен соответствовать следующим трем показателям электронного производителя. В зависимости от температуры и влажности нагрузки рассчитать и определить подачу воздуха в чистую комнату и количество подаваемого свежего воздуха.
